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這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下,線柵的橫截面呈梯形,它位于襯底上,被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。 R.2KYhp, 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時(shí),平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。 PG
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