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摘要 5^*I]5t8
 a//<S?d$: F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統(tǒng)。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中，偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion中的掃描源，通過(guò)測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 j$siCsF BA53
建模任務(wù) RoT}L#!!
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