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    [技術(shù)]F-Theta掃描透鏡的性能評估 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-06
    摘要 o?hya.;h4  
                                             Cww$ A %}  
    F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統(tǒng)。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中，偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion中的掃描源，通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 {f3T !e{  
    cB?HMLbG>  
    建模任務(wù) wl5!f|  
    PiAA,  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-掃描源                                                     z@<`]  
    H!oP!rzEo  
    How to Set Up a Scanning Source vco:6Ab$  
                                                                                   Fwho.R-.  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-透鏡系統(tǒng)組件                                                                 B6=8cf"i  
    {!6!z,  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-參數(shù)耦合 u49/LtB\  
       T7!a@  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion Mx$VAV^\  
                                                                                       pBmacFP  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-失真分析儀 BnAia3z  
                                                                               ]km8M^P  
    實際焦點位置與參考焦點位置之間的偏差表明了F-Theta透鏡的性能。這些信息可以使用Distortion Analyzer計算。 ot-!_w<  
     _=4Dh/Dv  
    雖然實際焦點點位置將由模擬計算，但參考焦點點位置可以指定為角度本身或其切線上的線性。                                                                               e&]XiV'  
    bO^%#<7  
    通用探測器和探測器附加組件                                                         <qHwY.  
    N:gS]OI*  
    t{84ioJ"$  
     )t @OHSl  
    Universal Detector允許用戶評估探測器接收到的光場，并通過使用所謂的附加組件計算各種物理量。附加組件可以相互提供信息(即，它們可以嵌套);在我們的例子中，我們使用場數(shù)據(jù)來計算輻射能密度，然后使用該數(shù)據(jù)上的另一個附加項來獲得場大小(FWHM)。更多資料見: yUEUIPL  
    mn 8A%6W  
    Universal Detector (:E^} &A  
                                                                                   Ak>RLD25_  
    總結(jié)-組件… T<p>:$vo  
    Ct"h.rD