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摘要 oD?c]}3 PEIf)**0N _G1C5nkDl4 DwBKqhu 橢圓偏振儀是一種光學(xué)測量方法,通常用于確定薄膜的介電特性。測量涉及確定不同波長和入射角下從樣品反射或透射時光偏振態(tài)的變化。因此,它可用于表征成分、粗糙度、厚度、結(jié)晶性能、導(dǎo)電性和其他材料特性。它對入射輻射與所研究材料相互作用的光學(xué)響應(yīng)變化非常敏感。此用例演示了橢圓偏振儀的基本原理,并說明了 VirtualLab Fusion中內(nèi)置橢圓偏振分析器的使用。 s
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