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說明 Pe w-6u" 'vT
XR_D 在本例中，我們仿真了使用BaTiO2的鐵電波導(dǎo)調(diào)制器，BaTiO2是一種折射率因外加電場而發(fā)生變化的材料。該器件的結(jié)構(gòu)基于文獻(xiàn)[1]。我們模擬并分析了給定工作頻率下波導(dǎo)調(diào)制器的有效折射率與電壓的關(guān)系。 d#.9!m~. PNLtpi xZ  qG=9zp4y?Y Z |u II#lq 背景 i{w<4E3 LuS] D% 鐵電波導(dǎo)由硅層和玻璃襯底上的BiTiO3（也稱為BTO）層組成。BiTiO3晶體的取向為晶體的[011]方向平行于光傳播方向（y方向），[001]方向沿著z方向。BiTiO3層的頂部的非晶硅可以形成脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，可以限制橫向（x方向）的光分布。金電極觸點被放置在離非晶硅脊波導(dǎo)兩側(cè)1μm遠(yuǎn)的地方。 ( Kh<qAP_n F{\MIuoy  89:Y
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