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說明 OAR#* ~q W32bBzhL 在本例中,我們仿真了使用BaTiO2的鐵電波導(dǎo)調(diào)制器,BaTiO2是一種折射率因外加電場(chǎng)而發(fā)生變化的材料。該器件的結(jié)構(gòu)基于文獻(xiàn)[1]。我們模擬并分析了給定工作頻率下波導(dǎo)調(diào)制器的有效折射率與電壓的關(guān)系。 QJ-6aB Jc(tV(z UIovv%7zZ V!a\:%#^Y 背景 y]+i.8[ WFsa8qv 鐵電波導(dǎo)由硅層和玻璃襯底上的BiTiO3(也稱為BTO)層組成。BiTiO3晶體的取向?yàn)榫w的[011]方向平行于光傳播方向(y方向),[001]方向沿著z方向。BiTiO3層的頂部的非晶硅可以形成脊波導(dǎo)結(jié)構(gòu),可以限制橫向(x方向)的光分布。金電極觸點(diǎn)被放置在離非晶硅脊波導(dǎo)兩側(cè)1μm遠(yuǎn)的地方。
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