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建模目的：如何將矩形光柵界面和轉變點列界面(Transition Point List Inerface)進行組合，以構建復雜結構光柵，并進行近場分析和內部場分析 T1*%]6&V|  
工具箱：光柵工具箱 Q1[3C(  
關鍵詞：矩形光柵界面 轉變點列界面 近場分析 內部場分析 63PSYj(y  
組合光柵結構參數(shù)： b/soU2?^  
使用VirtualLab光柵工具箱進行建模 Y n7z#bu  
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1) 操作如下圖(1)(2)：解決方案(Solutions)/光柵工具箱(Grating Toolbox)/二維光柵仿真(2D Grating Simulations)/自定義光柵光路流程圖(General Grating Light Path Diagram)，生成光柵光路圖, 如下圖(3) zg>)Lq|VsT  
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2) 雙擊 ，進入光柵編輯窗口(Edit General Grating 2D)/結構與功能子窗口(Structure/Function)，確定基板材料和厚度，并選擇堆棧界面。 eHl)/='  
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3) 進入堆棧界面，即堆棧編輯窗口(Edit)，通過添加(Add)按鈕依次添加平面(Plane Interface)，矩形光柵界面(Rectarngular Grating Interface)以及轉變點列界面(Transition Point List Interface)以構建矩形組合光柵。 X/BcS[a  
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4) 點擊 ，進入矩形光柵編輯窗口(Edit Rectangular Grating Interface)，輸入光柵一的結構參數(shù)，并將其位置橫向移動(Lateral Shift)1 µm，如下圖所示 1=L5=uz1d:  
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5) 點擊 ，進入轉變點列界面(Transition Point List Interface)編輯窗口(Edit Transition Point List Interface)，輸入光柵二和光柵三兩種光柵結構參數(shù)： |>zYUT[V  
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(1) 通過點擊添加數(shù)據(jù)(Add Datum)增加轉變點(transition points)，并給該點對應的橫向位置(x-Position)和高度(Height)賦值，以形成所需轉變點序列。 : *8t,f~s^  
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(2) 按照圖6(2)所示設置所有轉變點，然后將插值方法(Interpolation Method)設置為常量區(qū)間(Constant Interval)。將橫向區(qū)域上限(Upper Limit)設置為2 µm，并設置大小與形狀(Size and Shape) 為2 µm x 2µm 長方形(Rectangular)。 <N(r-