干涉儀是在光學(xué)計(jì)量領(lǐng)域的許多應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)。廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、機(jī)械形變或熱形變等高精度測(cè)量。大多數(shù)干涉儀系統(tǒng)強(qiáng)烈依賴(lài)分束器來(lái)分離入射光束。要詳細(xì)研究這些組件可能對(duì)光產(chǎn)生的所有不同物理影響，就需要一種可以模擬真實(shí)光束分束器組件的建模方法。

考慮到這一點(diǎn)，我們分享了兩個(gè)用例，其中包含了這種分束器的最常見(jiàn)設(shè)計(jì)。在第一篇文章中，我們看了一個(gè)基于受抑全內(nèi)反射(FTIR)的立方體分束器，并演示了間隙如何影響透射和反射效率。在第二個(gè)用例中，我們研究了由實(shí)際分束器與理想分束器所產(chǎn)生的相移。

本用例演示了一個(gè)基于受抑全內(nèi)反射(FTIR)的實(shí)際分束器，并研究了間隙厚度對(duì)反射和透射效率的影響。

在VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光光源的Mach-Zehnder干涉儀，并采用非序列場(chǎng)追跡技術(shù)對(duì)干涉儀進(jìn)行了分析。研究了理想分束器和棱鏡分束器的不同行為，并演示了相對(duì)相移引起的互補(bǔ)干涉圖樣。