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摘要 3V=wW{;x 2T 3tKX 直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大,元件的特征尺寸與工作波長(zhǎng)在相同的數(shù)量級(jí)上。因此,設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此,在這個(gè)例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評(píng)估。 $$F iCMI opsjei@ Y\75cfD yAD-sy +/ 設(shè)計(jì)任務(wù) V1di#i: dyWj+N5( 使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設(shè)計(jì)通過嚴(yán)格分析,進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 +lC?Vpi^ K93L-K^J $0 ]xeD0X |?A:[C#X 光柵級(jí)次分析模塊設(shè)置 ~H`m"4zQ +*uaB j/
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