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摘要 +>AVxV=A# .gNziDO
直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大,元件的特征尺寸與工作波長(zhǎng)在相同的數(shù)量級(jí)上。因此,設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此,在這個(gè)例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評(píng)估。 hN*v|LFf1 PW iuM=E
u~VXe *3OlWnZ? 設(shè)計(jì)任務(wù) vl6|i)D eD3\>Y.z 使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設(shè)計(jì)通過嚴(yán)格分析,進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 eu8a< /?0|hi<_$
"=KFag >|gXE> 光柵級(jí)次分析模塊設(shè)置 ]JvjM, 7xY&7 x(v GMkni'pV 使用常規(guī)的分束器會(huì)話2編輯器,VirtualLabFusion提供了一個(gè)指導(dǎo)工具,允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計(jì)的參數(shù)。 {.0I!oWv +fKV/tSWi
J5O/c,?g Tr4\ `a-i \TnK<83 1. 通過應(yīng)用設(shè)計(jì)帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。 W5e>Z&& 2. 對(duì)于此轉(zhuǎn)換,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。 H3pZfdh?w 3. VirtualLab Fusion提供計(jì)算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。 4~&X]/_' 4. 要在不同的模擬場(chǎng)景中使用這種結(jié)構(gòu),需要從組件內(nèi)部獲取實(shí)際的采樣表面或指定的堆棧。 .wTb/x O'xp"
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