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    [技術(shù)]非近軸衍射分束器的設(shè)計(jì)與嚴(yán)格分析 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-08-09
    摘要 +>AVxV=A#  
    .gN ziDO  
    直接設(shè)計(jì)非近軸衍射分束器仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大,元件的特征尺寸與工作波長(zhǎng)在相同的數(shù)量級(jí)上。因此,設(shè)計(jì)過程超出了近軸建模方法。因此,在這個(gè)例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評(píng)估。 hN*v|LFf1  
    PW iuM=E  
    u~ VXe  
    *3OlWnZ?  
    設(shè)計(jì)任務(wù) vl6|i)D  
    eD3\>Y.z  
    使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設(shè)計(jì)通過嚴(yán)格分析,進(jìn)一步優(yōu)化零階均勻性和影響 eu8a<  
    /?0|hi<_$  
    "=KFag  
     >|gXE>  
    光柵級(jí)次分析模塊設(shè)置 ]JvjM,  
                           7xY&7 x(v  
    GMkni'pV  
    使用常規(guī)的分束器會(huì)話2編輯器,VirtualLabFusion提供了一個(gè)指導(dǎo)工具,允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計(jì)的參數(shù)。 { .0I!oWv  
    +fKV/tSWi  
    J5O/c,?g  
    Tr4\ `a-i  
    \TnK<83  
    1. 通過應(yīng)用設(shè)計(jì)帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。 W5e >Z&&  
    2. 對(duì)于此轉(zhuǎn)換,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。 H3pZfdh?w  
    3. VirtualLab Fusion提供計(jì)算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。 4~ &X]/_'  
    4. 要在不同的模擬場(chǎng)景中使用這種結(jié)構(gòu),需要從組件內(nèi)部獲取實(shí)際的采樣表面或指定的堆棧。 .wTb/x  
    O'xp"