SYNOPSYS提供可以簡化設(shè)計(jì)自由曲面的過程。閱讀幫助文件中的FFBUILD。我們將展示如何設(shè)計(jì)一個(gè)具有自由曲面的反射系統(tǒng)。
第一步是初略的列出幾何圖形。這里有一個(gè)離軸三反鏡的例子:
光將從表面1的左側(cè)進(jìn)入，打到2,3和4的反射鏡，然后進(jìn)入5處的圖像平面。這是FFBUILD的輸入：
FFBUILD
SYSTEM
ID EXAMPLE FFBUILD
OBB 0 2 12 2 2
WAVL CDF
UNI MM
CFOV
END
GEOM
2 MIRROR 0 0 140
3 MIRROR 0 40 30
4 MIRROR 0 40 120
5 IMAGE 0 -30 60 -7 7
END
SHAPES
2 ZERN
3 ZERN
4 ZERN
END
在這個(gè)例子中，反射鏡將被分配Zernike多項(xiàng)式，它接受多達(dá)36個(gè)系數(shù)，這些系數(shù)是表面上極坐標(biāo)的函數(shù)。 由于FFBUILD僅支持具有雙邊對(duì)稱性的設(shè)計(jì)，因此不會(huì)使用X中的非對(duì)稱項(xiàng)。
以上輸入包含：圓形半視場角為2度，半孔徑為25毫米。我們運(yùn)行上面的輸入文件，它將產(chǎn)生兩個(gè)結(jié)果：一個(gè)鏡像系統(tǒng)（目前有平面）和一個(gè)優(yōu)化MACro，它包含了完善這個(gè)設(shè)計(jì)所需的大部分輸入。系統(tǒng)如下：
優(yōu)化 MACro 的命令行很長，包含了Y和Z中鏡面的角度和全局位置的變量，以及鏡面上的Zernike系數(shù)的變量。但是，大多數(shù)變量都被注釋掉了，因?yàn)槲覀儼l(fā)現(xiàn)，如果您首先粗略地設(shè)計(jì)出只有半徑和角度變化的設(shè)計(jì)，然后根據(jù)需要逐漸添加其他變量，那么這個(gè)過程會(huì)更好。這是 MACro 的一部分;綠色的命令行被注釋掉了。
PANT
SKIP
VY 2 YG
VY 2 ZG
VY 3 YG
VY 3 ZG
VY 4 YG
VY 4 ZG
VY 5 YG
VY 5 ZG
EOS
VY 2 AG
VY 3 AG
VY 4 AG
VY 5 AG
VY 2 RAD
! VY 2 CC 10 -10
! VY 2 G 3
! VY 2 G 4
! VY 2 G 7
! VY 2 G 8
! VY 2 G 10
! VY 2 G 11
! VY 2 G 14
! VY 2 G 15
! VY 2 G 16
! VY 2 G 19
! VY 2 G 20
! VY 2 G 23
! VY 2 G 24
! VY 2 G 26
! VY 2 G 27
! VY 2 G 30
! VY 2 G 31
! VY 2 G 34
! VY 2 G 35
! VY 2 G 36
...
大多數(shù)命令由操作數(shù)組成，操作數(shù)將控制光束在反射鏡之間反射時(shí)的間隙。 以下是該部分的一部分：
LLL 1.0000 1.0000 1.0000
A P CCLEAR 1 0 1 0 1 3
S CAO 3
LLL 1.0000 1.0000 1.0000
A P CCLEAR 1 0 -1 0 1 3
S CAO 3
LLL 1.0000 1.0000 1.0000
A P CCLEAR -1 0 1 0 1 3
S CAO 3
LLL 1.0000 1.0000 1.0000
A P CCLEAR -1 0 -1 0 1 3
S CAO 3
LLL 1.0000 10.0000 1.0000
A P CCLEAR 0 0 1 0 1 3
S CAO 3
LLL 1.0000 10.0000 1.0000
A P CCLEAR 0 0 -1 0 1 3
S CAO 3
LLL 1.0000 1.0000 1.0000
A P CCLEAR 1 0 1 0 1 4
S CAO 4
LLL 1.0000 1.0000 1.0000
A P CCLEAR 1 0 -1 0 1 4
在該輸入中，程序已經(jīng)在表面1和2之間的全視場上邊緣光線，與表面3相交的點(diǎn)與該表面的通光孔徑半徑（CAO）之間的差值上，指定了1mm的下限。結(jié)果，如果該交叉點(diǎn)落在該通光孔徑內(nèi)，則評(píng)價(jià)函數(shù)會(huì)受到優(yōu)化，但是如果光線通過該孔徑，則不會(huì)被優(yōu)化。該程序還為反射鏡分配了DCCR表面屬性，因此，默認(rèn)的通光孔徑是在子午面的光線所要求的極值點(diǎn)之間，而不是默認(rèn)的頂點(diǎn)處。 剩余的CCLEAR項(xiàng)控制每個(gè)反射鏡對(duì)和其他反射鏡之間的視場頂部和底部的上邊緣光線和下邊緣光線之間的間隙。有許多組合，它們都必須受到控制。
評(píng)價(jià)函數(shù)包含YZ平面中要求七個(gè)點(diǎn)的GNR和傾斜方向視場中的一個(gè)點(diǎn)（因?yàn)槲覀儗FOV指令放在SYSTEM文件中），并使用GDR控制X和Y方向上的畸變（因?yàn)槲覀冊(cè)贕EOM部分中的IMAGE行的詞6和7中放了一個(gè)所需圖像大小的數(shù)據(jù)）。
運(yùn)行這個(gè)MACro。這將初始設(shè)計(jì)逐步改進(jìn)。運(yùn)行后，系統(tǒng)看起來更合理。
像面處在在正確的位置，光束很好地形成了像。
我們通過在全視場控制YA來間接指定焦距�？刂艶OCL本身并不是一個(gè)好主意，因?yàn)镕OCL是一種近軸屬性，對(duì)于像這樣的折疊系統(tǒng)沒有多大意義。我們想要的是在圖像上和下視場點(diǎn)之間的距離為20毫米。如上所述，程序通過GDR控制此操作。
我們的系統(tǒng)目前還不太好。理應(yīng)設(shè)置其他一些變量。慢慢地改變這個(gè)系統(tǒng)是明智的，所以我們要慢慢優(yōu)化。因此，我們通過刪除命令行前的“!”來移除G3到G10變量表面的的注釋字符“!”。
VY 2 RAD
! VY 2 CC 10 -10
VY 2 G 3
VY 2 G 4
VY 2 G 7
VY 2 G 8
VY 2 G 10
! VY 2 G 11
...
對(duì)表面3和4執(zhí)行相同操作，然后運(yùn)行MACro并再次模擬退火。評(píng)價(jià)函數(shù)下降了。 并繼續(xù)釋放變量G 11到G 20。評(píng)價(jià)函數(shù)下降到0.00018。這是很明顯的進(jìn)步。 在YG和ZG變量上注釋掉SKIP指令。（如果你自己運(yùn)行這個(gè)操作，結(jié)果通常有所不同，因?yàn)槟M退火階段將隨機(jī)性納入過程。但總體質(zhì)量通常是相似的。） 結(jié)果非常好。
您可能想知道為什么我們一開始就不讓CC變化.表面從平面開始，不能把圓錐常數(shù)賦給平面。現(xiàn)在評(píng)估我們目前的結(jié)果。轉(zhuǎn)到MAP對(duì)話框（MMA）并要求在物點(diǎn)網(wǎng)格，物點(diǎn)CREC，光線圖樣CREC 9，顯示圓圈，EANALOG比例1.0和執(zhí)行的網(wǎng)格上繪制波前差的圖案。
波前在子午方向和弧矢方向上非常好，但在邊緣視場不太好。我們?cè)偬砑觾蓚�(gè)GNR命令。
這是AANT文件的相關(guān)部分：
GNR 0 1 4 P 0
GNR 0 1 4 P 1
GNR 0 1 4 P -1
GNR 0 1 4 P .7
GNR 0 1 4 P -.7
GNR 0 1 4 P .3
GNR 0 1 4 P -.3
GNR 0 1 4 P 0 1 0 F
GNR 0 1 4 P .707 .707 0 F
GNR 0 1 4 P -.707 .707 0 F
最后兩行控制有問題的傾斜視場點(diǎn)。我們運(yùn)行它并模擬退火，現(xiàn)在MAP顯示波像差分布更均勻。（注意比例變化。）
現(xiàn)在我們需要直接控制OPD。我們復(fù)制所有GNR行并在它們下面粘貼一份副本。然后我們將新命令行中的GNR更改為GNO。這將糾正OPD而不是橫向色差。 我們還將這些命令行的權(quán)重更改為0.1而不是1.0。（一個(gè)波長的OPD遠(yuǎn)優(yōu)于1毫米的彌散斑。）波前差稍微好了一點(diǎn)，但邊緣視場角仍然需要注意。我們將GNO的權(quán)重增加到0.2。以這種方式進(jìn)行，我們調(diào)整那些顯示最大方差的視場點(diǎn)的權(quán)重，并保持優(yōu)化和模擬退火。我們讓這些目標(biāo)和權(quán)重取得了很好的平衡：
GNR 0 1 4 P 0
GNR 0 1 4 P 1
GNR 0 1 4 P -1
GNR 0 1 4 P .7
GNR 0 1 4 P -.7
GNR 0 1 4 P .3
GNR 0 1 4 P -.3
GNR 0 1 4 P 0 1 0 F
GNR 0 1 4 P .7 .7 0 F
GNR 0 1 4 P -.7 .7 0 F
GNO 0 .2 5 P 0
GNO 0 .2 5 P 1
GNO 0 .2 5 P -1
GNO 0 .1 5 P .7
GNO 0 .1 5 P -.7
GNO 0 .1 5 P .3
GNO 0 .1 5 P -.3
GNO 0 .2 5 P 0 1 0 F
GNO 0 .2 5 P .7 .7 0 F
GNO 0 .2 5 P -.7 .7 0 F
我們還將GNO設(shè)置的網(wǎng)格數(shù)更改為5而不是4。
我們來看看結(jié)果。最差的視場點(diǎn)是GBAR 0.33。這是由MDI對(duì)話框創(chuàng)建的圖像。
所有其他的點(diǎn)都更好。這是個(gè)不錯(cuò)的設(shè)計(jì)。讓我們假設(shè)這個(gè)應(yīng)用程序，我們將使用一個(gè)CCD陣列傳感器，像素為10微米，這看起來很好。
你可以從RSOLID得到更好的視圖，它只顯示去中心CAO內(nèi)部的部分表面。但首先，我們進(jìn)入Edge向?qū)?MEW)，選擇Create All，并根據(jù)需要調(diào)整鏡像的厚度�，F(xiàn)在反射鏡被賦予了真實(shí)的邊緣和厚度。然后我們創(chuàng)建一個(gè)RSOLID圖片：
在CW中輸入MPE，進(jìn)行如下設(shè)置：（或點(diǎn)擊按鈕
）
我們的自由曲面反射系統(tǒng)設(shè)計(jì)完成。
現(xiàn)在我們可以看看產(chǎn)生的形狀。請(qǐng)輸入以下命令FFA 2 0 RSAG SURF
生成下面的圖片，顯示實(shí)際形狀和基本對(duì)稱形狀之間的差異：
要查看輪廓，我們使用FFA 2 0 RSAG CONTOUR
實(shí)際表面的形狀由FFA 2 0 SAG CONTOUR給出：
以這種方式進(jìn)行，我們可以看看所有反射鏡的形狀。
畸變?cè)趺礃樱?GDR請(qǐng)求也很好地處理了。這是命令GDIS 31的圖片。一點(diǎn)也不差。
還有一個(gè)問題是：如何測試這些反射鏡？最簡單的方法是在干涉儀中針對(duì)已知半徑的參考波前進(jìn)行測試時(shí)觀察條紋。FFA也可以證明這一點(diǎn)。以下是命令
FFA 2 0 RFRINGES的輸出：
如果你看到這種條紋斑圖，反射鏡是完美的。
這就是人們?nèi)绾问褂酶呒?jí)工具設(shè)計(jì)自由形式的鏡像系統(tǒng)。計(jì)算機(jī)為您完成大部分工作。
現(xiàn)在由您和加工場進(jìn)行足夠的溝通，以便他們了解結(jié)果并正確地制作零件。以下是一些指示：
1.在本例中，表面 4是按照我們的要求由Zernike項(xiàng)定義的。變量G36改變了擴(kuò)張的中心點(diǎn)——因此它不在頂點(diǎn)。而后者也不在通光孔徑的中心。有三個(gè)中心點(diǎn)需要考慮。
2.在將這些數(shù)據(jù)呈現(xiàn)給加工場時(shí)，請(qǐng)確保它們理解相關(guān)參數(shù)的坐標(biāo)系統(tǒng)和位置
查看FFA的其他功能。您可以在曲面上創(chuàng)建一個(gè)sags表，這對(duì)于運(yùn)行精密銑削設(shè)備的技術(shù)人員來說非常重要。
