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[技術(shù)]集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-09-14

1. 摘要

在最近的幾十年里，COMS傳感器的像素尺寸由最初大于10um以發(fā)展至2um，甚至更小。通過減小像素尺寸以獲得更高的空間分辨率。與此同時(shí)，這也為覆蓋在每個(gè)像素上的微透鏡的功能帶來了疑問。在此示例中，我們研究了像素大小等于或小于2um CMOS傳感器的性能。并在仿真分析中采用嚴(yán)格的FMM / RCWA以檢測微透鏡的有效性。

2. 建模任務(wù)

采用的幾何參數(shù)來自Y. Huo, et al., Opt. Express 18, 5861-5872 (2010)

3. 2 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) >I|8yqbfm
?1D!%jfi

4. 1.8 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) y)fMVD"(
/@F'f@;

5. 1.6 um像素的微透鏡陣列(X-Z截面仿真) H-PVV&r
xgcxA:

6. 3D仿真與結(jié)果對(duì)比 |Dn Zk3M,
vN'+5*Cgy6

7. 走進(jìn)VirtualLab Fusion Jh3
rO7_K>g?

8. VirtualLab Fusion的工作流程

 構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu)
- Configuration of Grating Structures by Using Interfaces [應(yīng)用案例]

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[技術(shù)]集成微透鏡陣列的CMOS傳感器分析 [復(fù)制鏈接]


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