1. 摘要
*Mc\7D *,*qv^ 高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦
仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。
VirtualLab可以非常便捷地對此類
鏡頭進行
光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦
光斑失對稱現(xiàn)象。利用
相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應的理解。
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fKAxH @\8gzvkt e~;)-Z n0pe7/Ai 2. 建模任務(wù)
Z-a(3& =_J<thp TWEqv<c gDNW~?/ 3. 概述
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ka@z7 E(_I3mftm 示例
系統(tǒng)包含了高數(shù)值
孔徑物鏡 eE%yo3 下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。
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