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    [技術(shù)]高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-10-19
    1. 摘要 *Mc\7D  
       *,*qv^  
    高NA物鏡廣泛用于光刻,顯微等技術(shù)。因此,聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡,可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)劢箙^(qū)域進行靈活全面的研究,進而加深對矢量效應的理解。 s= fKAxH  
    @\8gzvkt  
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    2. 建模任務(wù) Z-a(3&  
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    3. 概述 B [ ka@z7  
    E(_I3mftm  
     示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 eE%yo3  
     下一步,我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 neFno5d