1. 摘要 Ayqs~&{  
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高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機探測器和電磁場探測器能夠?qū)�聚焦區(qū)域進行靈活全面的研究，進而加深對矢量效應的理解。 :KX*j$5U  
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2. 建模任務 gTTKjlI[  
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3. 概述 $+44US  
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 示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 
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 下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 *lL
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4. 光線追跡仿真 }6%\/d1~ 6  
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 首先，選擇“Ray Tracing System Analyzer”作為仿真引擎。 PV"\9OIKb.  
 點擊“Go!”。 LXby(|<j  
 隨即獲得3D光線追跡結果 W9c&"T9JT  
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 然后，選擇“Ray Tracing”作為仿真引擎。 Wll0mtv  
 點擊“Go!”。 [ol
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 隨即獲得點列圖(2D光線追跡結果)。 g_l-@  
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5. 場追跡仿真 !+@70|gFF  
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 轉(zhuǎn)換到場追跡，并選擇“Field Tracing 2nd Generation”作為仿真引擎。 u?SwGXi~8  
 點擊“Go!”。 Y9#dAI[Gce  
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圖片:1-200509111001a8.png

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