摘要
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\#v(f2jPF SB|Cr:wM 干涉測量法是一項用于
光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機(jī)械和熱變形的高
精度測量。作為一個典型示例,在非
序列場追跡技術(shù)的幫助下,于
VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-澤德
干涉儀。該例證明了
光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
ol1J1Zg >guX,hx^ 建模任務(wù)
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z5_jx&^Z 由于組件傾斜引起的干涉條紋
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\qDY0hIv t e#vGrLs. 由于偏移傾斜引起的干涉條紋
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