摘要
Vl%AN;o d(3F:dbk
] QGYEjW .0:BgM 干涉測量法是一項用于
光學(xué)測量的重要技術(shù)。它被廣泛應(yīng)用于表面輪廓、缺陷、
機械和熱變形的高
精度測量。作為一個典型示例,在非
序列場追跡技術(shù)的幫助下,于
VirtualLab Fusion中建立了具有相干
激光源的馬赫-澤德
干涉儀。該例證明了
光學(xué)元件的傾斜和位移對干涉條紋圖的影響。
GvF8S MO[x J}c57$Z 建模任務(wù)
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IEfzu L<v CC0@RU 由于組件傾斜引起的干涉條紋
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