摘要
)?{<Tt@ M~zI;:0O 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見的
光學(xué)計(jì)量設(shè)備，它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高
精度測試。 借助
VirtualLab Fusion中的非順序追跡，我們構(gòu)建了一個(gè)菲索
干涉儀，并利用它測試了不同的光學(xué)表面，例如圓柱形和球形。 可以看出，產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。
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