Field Inside Component Analyzer: FMM使用戶能夠分析電磁場(chǎng)在微納米結(jié)構(gòu)內(nèi)部的分布。為此，任意周期結(jié)構(gòu)(包括透射和反射、介質(zhì)或金屬光柵)內(nèi)的場(chǎng)通過應(yīng)用傅里葉模態(tài)方法/嚴(yán)格耦合波分析法(FMM/RCWA)來計(jì)算。還可以指定場(chǎng)的哪一部分應(yīng)該可視化:前向傳播的場(chǎng)、后向傳播的場(chǎng)或兩者都要可視化。 >PbB /->  

圖片:1-2310291H5405W.png

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尋找元件內(nèi)部場(chǎng)分析儀:FMM 6[x6:{^J  
JX)%iJq#  

圖片:1-2310291HG64L.png

3*(w=;y  
元件內(nèi)部場(chǎng)分析儀:FMM是光柵光學(xué)設(shè)置的專用功能，可提供光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場(chǎng)的可視化。 C}'Tmi  
l@W1bS  

圖片:1-2310291H931305.png

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評(píng)估模式 QJ4=*tX)  
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圖片:1-2310291H959259.png

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為了更容易地區(qū)分入射場(chǎng)、反射場(chǎng)和透射場(chǎng)，可以只計(jì)算前向或后向傳播模式，或兩者的結(jié)合。 D$?}M>  
DS|HN
 

圖片:1-2310291I154257.png

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lp}p  
          前向傳播模式                    后向傳播模式             前向和后向傳播模式 "/kTEp  
t,]E5,1  
評(píng)估區(qū)域                                                     EP'I  
1F,>siuh ,  

圖片:1-2310291I3023G.png

K@<%Vc>L(  
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