摘要 s&Yi 6:J  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。 d5!!U
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建模任務 fY W|p<Q0  
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仿真干涉條紋 E^CiOTN  
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走進VirtualLab Fusion &JhX+'U  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 FHg0E++?  
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•設置輸入場 m9":{JI.w  
−基本光源模型[教程視頻] /'wF2UR  
•使用導入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 r>t1 _b+nu  
•定義元件的位置和方向 KoBW}x9Jp  
− LPD II：位置和方向[教程視頻] }NCL>l;q  
•正確設置通道以進行非序列追跡 EgM*d)X  
−非序列追跡的通道設置[用例] d)ahF[82  
•使用參數(shù)運行檢查影響/變化 vjUp *R>h  
−參數(shù)運行文檔的使用[用例] ~ 'Vxg}  
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VirtualLab Fusion技術 )!W45"l-3M  
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