摘要 R%KF/1;/  
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術(shù)。 通過利用白光光源的低相干性，僅當光程長度差在相干長度內(nèi)時才會出現(xiàn)干涉圖樣。 因此，它可以實現(xiàn)精確的顯微鏡測量。在本案例中，氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構(gòu)建并用于測量表面平滑變化的樣品。 0Agse)  
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圖片:1-191209152110491.png

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建模任務(wù) cCZp6^/<x  
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仿真干涉條紋 8;?4rrS  
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走進VirtualLab Fusion r>(,)rs(l  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 Qn8xe,  
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•設(shè)置輸入場 AtJ{d^  
−基本光源模型[教程視頻] 'TS_Am?o  
•使用導(dǎo)入的數(shù)據(jù)自定義表面輪廓 ^7yt>