摘要
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T9^i#8-^ 高
數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、
顯微鏡等。因此，在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照
相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
Nvi14,q/ c#DTL/8"DO 
DxBt83e K&*FI (a 建模任務(wù)
x@~V975Y iR-O6*PTC 
83a
Rq&(R b/EvcN8 } 入射平面波
a #1X )ot 波長 2.08 nm
F\e'z 光斑直徑： 3mm
\Mi< ROp5 沿x方向線偏振
` 6A"e Da n7G$ gLX 如何進(jìn)行整個(gè)
系統(tǒng)的光線追跡分析？
bCF63(0 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？
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