摘要
x.4m|f0; wb ;xRP"w 對(duì)于如背光、
光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來(lái)說(shuō),光如何高效地耦合到波導(dǎo)
結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問(wèn)題。對(duì)于這些應(yīng)用,眾所周知
傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法(FMM,也稱(chēng)為RCWA)對(duì)傾斜光柵進(jìn)行
優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次,優(yōu)化得到的光柵的
衍射效率超過(guò)90%。此外,還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。
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