課程四十八：從
初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計(jì)的微
光刻透鏡 >Yt+LdG!- 你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器，它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的
鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)
光學(xué)設(shè)計(jì)，這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。
2g:V_% 本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子:
+'QE-#%{= 1. 鏡片數(shù)22片
8:)itYE 2. 物高31mm
f%5 s8) 3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2
e95@4f^ K2 4.
波長(zhǎng)為UV
$kCLS7 * 5. 像方晶圓尺寸是12.66mm
>'96SE3 6. 總長(zhǎng)小于1200mm
kMY1Xb Hlye:.$ 這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計(jì)。首先，我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組，可以讓
光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組，將準(zhǔn)直光束
成像到晶圓片上。
?PST.+l l!Yj Dm{E 首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設(shè)計(jì)出11個(gè)鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：
c 6Z\ecH9 下面是對(duì) DSEARCH 的輸入：
fPu, @
L
【評(píng)論留言添加工作人員，領(lǐng)取文章中運(yùn)行宏文件】 Y <EdFzle %+e%
RZ3 返回一個(gè)非常好的初始結(jié)構(gòu)，我們將它保存。使用命令為：SAVE LEFT11.
QpC,komLJ x;p7n 2_ 現(xiàn)在激活 ACON 2，我們使用 DSEARCH 來設(shè)計(jì)右半邊的鏡片組，輸入命令如下：
leomm+f^ 【評(píng)論留言添加工作人員，領(lǐng)取文章中運(yùn)行宏文件】 yi$
