課程四十八：從
初始結(jié)構(gòu)開始設(shè)計的微
光刻透鏡 |2
g }i\ 你現(xiàn)在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復(fù)雜的
鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)
光學(xué)設(shè)計，這將是一個好的學(xué)習(xí)例子。
tJ&S&[} 本課將給出一個學(xué)習(xí)例子:
!:c 7I@ 1. 鏡片數(shù)22片
'355Pce/ 2. 物高31mm
}zlvs
a+ 3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2
)m\%L`+ 4.
波長為UV
$_S^Aw? 5. 像方晶圓尺寸是12.66mm
TAi
|]U! 6. 總長小于1200mm
E IsA2 f lh(A=hn"n 這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計。首先，我們將為左半部分設(shè)計一個鏡片組，可以讓
光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計第二個鏡片組，將準(zhǔn)直光束
成像到晶圓片上。
UDt.w82 xPq3Sfg`A 首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設(shè)計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：
Nr|.]=K)5n 下面是對 DSEARCH 的輸入：
shYcfLJ 【評論留言添加工作人員，領(lǐng)取文章中運行宏文件】 ?N,a {#w RVXRF_I 返回一個非常好的初始結(jié)構(gòu)，我們將它保存。使用命令為：SAVE LEFT11.
0 -=onX FnvN 4h{S 現(xiàn)在激活 ACON 2，我們使用 DSEARCH 來設(shè)計右半邊的鏡片組，輸入命令如下：
K%2,z3ps 【評論留言添加工作人員，領(lǐng)取文章中運行宏文件】 |b'tf :l IW$&V` `v 結(jié)果很好，我們保存了這個鏡頭，使用命令：SAVE RIGHT11.
;}.jRmnJ 
nD MNaMYb 現(xiàn)在把這兩部分合并起來。再次激活 ACON 1，并輸入：
zc* qmb COMBINE 23
lU :z>gC RIGHT11.現(xiàn)在它們被合并成了一個鏡頭。
b ?B"u^b! 現(xiàn)在打開由 DSEARCH 為右半部分鏡片組準(zhǔn)備的
優(yōu)化宏，修改 TOTL的設(shè)置，指定1200mm長度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。還為后焦添加一個控制目標(biāo)，現(xiàn)在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后運行宏并
模擬退火(33,2,50)。鏡頭得到了改進。
)WwysGkqol 
6Ck?O/^ 查看多視場衍射 MTF，在像質(zhì)分析中，選擇 MTF（衍射） 多視場衍射 MTF，顏色為 M，然后運行 MMF
I@pnZ-5 查看畸變圖，在像質(zhì)分析中，選擇像差畸變，顏色為 M ，運行 DIS
: b $
M 我們有了一個非常好的微光刻鏡頭。
&EE6<-B- 很高興您選擇
SYNOPSYS 來設(shè)計您的鏡頭，它可以快速的做出非常好的設(shè)計。
9} eIidw
