在本示例中,我們使用 RCWA 求解器設(shè)計(jì)了一個(gè)斜面浮雕
光柵 (SRG),它將用于將
光線耦合到單色
增強(qiáng)現(xiàn)實(shí) (AR)
系統(tǒng)的波導(dǎo)中。光柵的幾何形狀經(jīng)過
優(yōu)化,可將正常入射光導(dǎo)入-1 光柵階次。
ykl./uY' \8Fe56 然后我們將光柵特性導(dǎo)出為
Lumerical Sub-Wavelength Model (LSWM) JSON 格式,以便在 Speos 的系統(tǒng)級(jí)
仿真中對(duì) SRG 進(jìn)行建模(請(qǐng)參閱 "Augmented Reality Optical System”)
_V6;`{$WK ^b;.zhp8;N 9+=U&* 概述
~b8U#'KD d'^jekh #)=P/N1 SRG 幾何圖形根據(jù)其傾斜角度、填充因子和高度進(jìn)行
參數(shù)化,如下所示:
dB_\0?jJ- v.\1-Q? 7u\^$25+h 光柵和基板的折射率為1.8。光柵被空氣包圍。周期固定在 393 nm。
wvJm)Mj+ nd_d tsp# 對(duì)光柵進(jìn)行優(yōu)化,以將
波長為 550 nm 的光傳輸?shù)?-1 光柵階次。RCWA 求解器用于SRG的優(yōu)化和完整的特性描述,具體包含定義仿真參數(shù)和運(yùn)行仿真這兩個(gè)步驟。
J9I!d.U uGc}^a2 第 1 步:耦合光柵的優(yōu)化
SMqJMirR 使用內(nèi)置的粒子群優(yōu)化(PSO)實(shí)用程序,優(yōu)化SRG的傾斜角、填充因子和光柵高度,以最大限度地提高在法向入射時(shí) 550 nm波長下S偏振的透射率。
kP6g0,\|a| 第 2 步:完整特性描述和數(shù)據(jù)導(dǎo)出
Jh M.P9 光柵優(yōu)化是使用來自光柵上方的正常入射光進(jìn)行的。但是,一旦選擇了優(yōu)化的幾何結(jié)構(gòu),就必須針對(duì)光線追蹤仿真中預(yù)期的入射角范圍以及前進(jìn)和后退方向計(jì)算完整的光柵特性。然后將結(jié)果導(dǎo)出到一個(gè) JSON 文件,該文件可以使用腳本在 Speos 或 Zemax 中使用。
398}a!XM hXbb+j 運(yùn)行和結(jié)果
7qgHH p |53Zg"! 第 1 步:優(yōu)化 SRG 幾何結(jié)構(gòu)
E;D9S 1.打開并運(yùn)行
模擬文件 ar_srg.fsp 。
~;il{ym 2.右鍵單擊“grating_orders”結(jié)果,然后選擇“ 新建可視化工具 >可視化 ”。
cL< 3.單擊并拖動(dòng)繪圖以放大“Ts_grating”結(jié)果(綠線)。
6/.-V1*O OPBnU@=R io$AGi 這些結(jié)果表明,初始設(shè)計(jì)將大約56%的正常入射S偏振光引導(dǎo)到-1光柵階次,F(xiàn)在,我們將使用優(yōu)化實(shí)用程序優(yōu)化 光柵幾何結(jié)構(gòu)以增加此值。
?J6J#{LRd J03yFT,dF 5.在“優(yōu)化和掃描”窗口中運(yùn)行優(yōu)化對(duì)象“optimization”。
0j7\.aaK 6.優(yōu)化完成后,通過右鍵單擊“優(yōu)化”對(duì)象并選擇“應(yīng)用最佳解決方案”來應(yīng)用最佳 幾何圖形。
>=6tfLQ /V2^/`&;a “優(yōu)化”對(duì)象將優(yōu)化 SRG 的傾斜角度、填充因子和光柵高度,這些被定義為“slanted_grating” 結(jié)構(gòu)組 的參數(shù)。傳輸?shù)?S 偏振的 -1 光柵階次中的功率用作品質(zhì)因數(shù) (FOM),如“優(yōu)化”對(duì)象的 FOM 腳本中定義。結(jié)果如下所示:
*hAq]VC}) #r#UO ~WehG<p v[ 在優(yōu)化幾何結(jié)構(gòu)下,-1光柵階數(shù)的衍射效率約為94.7%。
qL,! 請(qǐng)注意,這種類型的光柵可以具有此FOM的多個(gè)局部最大值[1]。雖然內(nèi)置的PSO工具是一種方便的快速優(yōu)化方法,但可以使用更高級(jí)的優(yōu)化方法來充分探索參數(shù)空間。有關(guān)詳細(xì)信息,請(qǐng)參閱進(jìn)一步使用模型部分。
C{-e(G`Yd 9'\18_w 第 2 步:完整特性描述和數(shù)據(jù)導(dǎo)出
4mQ:i7~ `kVy1WiY 1.在同一模擬文件中,為“RCWA”對(duì)象設(shè)置以下屬性:
FJp~8
x= ·傳播方向 :兩者
l`~*"4|/ ·入射角 :范圍
vv"_u=H ·最小θ :0
*s S7^OZ* ·最大θ :85
*Jmy:C<> ·θ點(diǎn) :18
R4]t D| ·最小 phi :0
z6ArSLlZ ·最大 phi :360
vtv|H ·PHI點(diǎn) 數(shù) :37
xWU0Ev)4U 2.通過單擊工具欄中的“運(yùn)行”按鈕來運(yùn)行 RCWA 模擬。
/F4rbL^: 3.運(yùn)行腳本 LSWM_JSON_export.lsf 。
@i$9c)D loLQ@?E 在此步驟中,針對(duì)前向和后向的指定入射角范圍計(jì)算優(yōu)化 SRG的S參數(shù)。然后將這些結(jié)果導(dǎo)出為適合使用腳本文件導(dǎo)入Speos或Zemax的LSWM JSON格式。
+I;b,p 1ePZs$ 使用參數(shù)更新模型
b{b2L.