摘要
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傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射
角度相當大,元件的特征尺寸與光的
波長相近。因此,通常使用的傍軸建模方法變得不準確,需要嚴格的技術(shù)。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元件近似(TEA)被用于衍射
光學元件(DOE)的初步設(shè)計,并且之后使用傅里葉模式方法(FMM)也稱為嚴格耦合波分析(RCWA)進行嚴格的性能評估,包括在高度變化的情況下對優(yōu)點函數(shù)變化的研究。
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