摘要 Pm^FSw"  
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非傍軸衍射光束分束器的直接設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)挑戰(zhàn)。由于衍射角度相當(dāng)大，元件的特征尺寸與光的波長(zhǎng)相近。因此，通常使用的傍軸建模方法變得不準(zhǔn)確，需要嚴(yán)格的技術(shù)。因此，在這個(gè)例子中，迭代傅里葉變換算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射光學(xué)元件（DOE）的初步設(shè)計(jì)，并且之后使用傅里葉模式方法（FMM）也稱為嚴(yán)格耦合波分析（RCWA）進(jìn)行嚴(yán)格的性能評(píng)估，包括在高度變化的情況下對(duì)優(yōu)點(diǎn)函數(shù)變化的研究。 k1g-%DB  
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