請(qǐng)教哪位大佬知道，新科隆機(jī)臺(tái)右槍更換完修正板后與模擬曲線有差異（實(shí)線是模擬曲線，虛線是實(shí)測(cè)曲線，H4鍍了5000，傘差可以，就是與模擬不擬合，是修正板太寬的原因嗎） zcE`.)y  
G<m6Sf  

圖片:搜狗截圖20231212181033.png

v(GT+i)|  
Fs_zNN  
請(qǐng)各位大佬賜教！

為啥要換修正板？換了離子源柵網(wǎng)？ knABlU  
感覺像是柵網(wǎng)的問(wèn)題，離子源能量不夠

路過(guò)看看了 Y{c+/n3d  

ouyuu:為啥要換修正板？換了離子源柵網(wǎng)？ n:5*Tg9  
感覺像是柵網(wǎng)的問(wèn)題，離子源能量不夠 (2023-12-16 00:32)  h| +(  

(!&g (l;  
原修正板固定孔變大了，又重新做了一個(gè)，比原來(lái)的板稍微寬一點(diǎn)，沒(méi)用離子源，鍍的AR膜

材料折射率和軟件的有差異

wflney:材料折射率和軟件的有差異 (2023-12-19 14:28) V6d*O`  

GZc%*  
是的，看結(jié)果應(yīng)該是實(shí)際鍍出來(lái)的曲線有問(wèn)題，曲線谷值應(yīng)該都在一條線上，但實(shí)際鍍出來(lái)的不是在一條線上 lC1X9Op  

修正板寬會(huì)有影響的，相當(dāng)于速率降了，折射率也會(huì)降

嚶?lián)糸L(zhǎng)空:修正板寬會(huì)有影響的，相當(dāng)于速率降了，折射率也會(huì)降 (2023-12-21 13:37)  $;;?'!%.  

Op%^dwVG(v  
請(qǐng)教大佬，怎樣找到一個(gè)合適的板寬度

照理來(lái)講只要是原板描的應(yīng)該問(wèn)題不大，稍微寬一點(diǎn)也沒(méi)多大影響的。 |ntJ+  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影響，所以修正板寬度只影響實(shí)際的膜厚， %?wuKZLnc  
（如果你TOOLING不改的話），不會(huì)影響膜的物理參數(shù)。 ldX]A#d.  
<![T~<.  
如果沒(méi)有發(fā)生漏氣之類的問(wèn)題的話，我懷疑你修正板擋到水晶了。 g(5s{njL  
是不是修正板做的很長(zhǎng)？

ouyuu:照理來(lái)講只要是原板描的應(yīng)該問(wèn)題不大，稍微寬一點(diǎn)也沒(méi)多大影響的。 fr?eOigbl  
速率控制是水晶在控制，水晶不受修正板影響，所以修正板寬度只影響實(shí)際的膜厚， H xlw1(zS  
（如果你TOOLING不改的話），不會(huì)影響膜的物理參數(shù)。
如果沒(méi)有發(fā)生漏氣之類的問(wèn)題的話，我懷疑你修正板擋到水晶了。 Kaa*;T![  
....... (2023-12-22 09:36)  @$*c0. |z  

r%#qbsN  
受教，我們又試了一爐，用的兩槽H4,其中一槽充氧異常，把參數(shù)改后，正常了，應(yīng)該是這個(gè)原因，充氧異常