摘要
RS'!>9I >(nb8T| 復(fù)雜
光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。
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