摘要 A:-r2;xB  
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復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 2Yt+[T*  

圖片:1-1Z515103219408.png

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1. 本案例主要說明： |JD"iP:  
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： G$)f5_]7{  
- 基于介質(zhì)的定義類型 6*]g~)7`Q~  
- 基于表面的定義類型 sWc_,[b  
 計(jì)算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 (+^z9p7/!  
 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 vm y?8E6+  
CMI V"-  
2. 光柵工具箱初始化 {+V]saYP  
 初始化 bXw
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- 開始→ YAoGVey  
光柵→ 0~:Eo89  
一般光柵光路圖(3D光柵) WK<:(vu.  
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圖片:1-1Z51510325XH.png

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 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。
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3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 #OT8_D  
 首先，必須先定義基底的厚度與材料 L~u@n24  
 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個(gè)所謂的堆棧進(jìn)行定義 #rkz:ir4  
 堆�？梢愿綄僭诨�底的一側(cè)或兩側(cè)。 X5hamkM*m  
 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。 D%+
cf  

圖片:1-1Z515103326459.png

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基于介質(zhì)的定義類型 7ZsBYP8%  
(例如：柱狀光柵) sD!)=