摘要 Fj9/@pe1  
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復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴(yán)格分析的簡(jiǎn)單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 p[(VhbN  

圖片:1-1Z515103219408.png

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1. 本案例主要說(shuō)明： *G^n<p$"  
 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過(guò)： l`2X'sw[/  
- 基于介質(zhì)的定義類型 , #yE#8
 
- 基于表面的定義類型 Na^1dn  
 計(jì)算前如何改變高級(jí)選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 Sf}>~z2  
 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 {xw*H<"f<  
L~1u?-zu  
2. 光柵工具箱初始化 gmfux b/  
 初始化 j.$#10*:  
- 開(kāi)始→ N\<RQ
tDg  
光柵→ 9&A-o  
一般光柵光路圖(3D光柵) M/5e4b  
&nk6_{6 c  

圖片:1-1Z51510325XH.png

,\;;1Kq  
 注意：對(duì)于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 (Rvke!"B  
n4%|F'ma  
3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 f
\"Qgn
 
 首先，必須先定義基底的厚度與材料 J/j1Yf'9  
 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個(gè)所謂的堆棧進(jìn)行定義 %t0Fx  
 堆�？梢愿綄僭诨�底的一側(cè)或兩側(cè)。 'kc_OvVA  
 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。 eI?<*  

圖片:1-1Z515103326459.png

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基于介質(zhì)的定義類型 XG"&\FL{T  
(例如：柱狀光柵) pe
z^]I  
1. 堆棧編輯器 =:aH2T*  
 在堆棧編輯器中，可以從庫(kù)中增加和插入界面和介質(zhì)。 9`\hG%F  
 為了以特殊材料定義光柵，必須添加兩個(gè)平面界面作為邊界。 >_U)=q  
88}c+V+N!  

圖片:1-1Z515103420130.png

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+7GecYz  

i^(_Gk  
 兩個(gè)平面界面間的介質(zhì)可以使均勻的，也可以是調(diào)制的。 wKhuUZj{  
 通過(guò)使用后者，可以非常有效地描述復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)，如柱狀光柵。、 OiX>^_iDt  

圖片:1-1Z515103446211.png

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2. 柱狀光柵介質(zhì) 1oaiA/bq  
 在庫(kù)目錄“LightTrans Defined”中，在柱狀介質(zhì)庫(kù)中可以找到鉻柱。 vm)&