摘要 r,cV(  
P6!c-\  
   sy.FMy+  
對(duì)于許多光學(xué)應(yīng)用來(lái)說(shuō)，抑制元件表面的反射是一個(gè)引人關(guān)注的問題。一種非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射納米和微米結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)受到自然界（如蛾眼）的啟發(fā)。這些結(jié)構(gòu)的特征尺寸處于亞波長(zhǎng)領(lǐng)域，具有獨(dú)特的波長(zhǎng)和角度依賴性質(zhì)。本文介紹了在VirtualLab Fusion中分析和設(shè)計(jì)確定性抗反射結(jié)構(gòu)的方法。 .D(H@3qA@  
^a0{"|Lq  
設(shè)計(jì)任務(wù) [i== Tp  
2`9e20  
j_H9l,V  
連接建模技術(shù)：蛾眼結(jié)構(gòu) j2#RO>`,I  
   ,6=j'j1#a  
v,I4ozDx  
光柵階數(shù)分析器 `aD~\O  
   G|H+ ,B  
h64<F3}  
元件內(nèi)場(chǎng)分析器：FMM -|bnvPmE  
tBd-?+~7  
><V<}&:y$(  
參數(shù)運(yùn)行 l+HmG< P  
F0t-b