摘要
#E]59_
fy$1YI>!Q vSh`&w^* 線柵偏振器,可以使透射光產(chǎn)生線性偏振狀態(tài),是眾多應(yīng)用中常見的一種
光學(xué)元件。由于它們的
結(jié)構(gòu)在亞
波長范圍內(nèi),因此必須對光的傳播進行嚴格的處理。VirtualLab的偏振分析器及其內(nèi)置的RCWA能夠詳細分析和
優(yōu)化,不僅是偏振器,還有抗反射結(jié)構(gòu)和其他類型的
光柵。它提供了與偏振有關(guān)的反射和/或透射衍射階數(shù)的信息,同時還可以分析效率與波長和/或入射角的關(guān)系。
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7 JI5Dy>u: 任務(wù)描述
s^SJY{ /RF7j; 本文件的主題是使用偏振分析器研究光柵的衍射階數(shù)的偏振狀態(tài)。
ce(#2o&` `X8F`5&U\f 光柵式光學(xué)裝置中的偏振分析器
GthYzd:'hJ Pz^544\~ou {Ha57Wk8D 編輯偏振分析器
\v/[6&|X0s g&.=2uP 0IpmRH/ -該分析器計算了所定義結(jié)構(gòu)的每個衍射階數(shù)的兩個正交偏振狀態(tài)的效率之和(無論是透射還是反射)。
+|rj4j)L&' -為此,在相應(yīng)
系統(tǒng)的光柵組件中配置的光柵被使用。
SX*RP;vHy -效率之和可以從所有(傳播)階數(shù)中計算,也可以從用戶定義的階數(shù)范圍中計算。
~K=b\xc^ }\LQ3y"[ 編輯偏振分析器
H.0K?N&\?> ,0k;!YK n:X y6H -入射
光束的偏振狀態(tài)可以根據(jù)以下坐標系來定義。
g78^9Y*1 a. 光柵的坐標系
cnLro b.光源的坐標系
Wjc'*QCPl c.P-S坐標系
tVjsRnb{ d.TE-TM坐標系
d'2A,B~_* y)*RV;^ 偏振方向
YK\X+"lB c9Yrw^ a.光柵坐標系
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