摘要
X:5*LB\/v oY: "nE 6dp~19T^ 線柵偏振器,可以使透射光產(chǎn)生線性偏振狀態(tài),是眾多應(yīng)用中常見的一種
光學(xué)元件。由于它們的
結(jié)構(gòu)在亞
波長范圍內(nèi),因此必須對光的傳播進(jìn)行嚴(yán)格的處理。VirtualLab的偏振分析器及其內(nèi)置的RCWA能夠詳細(xì)分析和
優(yōu)化,不僅是偏振器,還有抗反射結(jié)構(gòu)和其他類型的
光柵。它提供了與偏振有關(guān)的反射和/或透射衍射階數(shù)的信息,同時還可以分析效率與波長和/或入射角的關(guān)系。
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{ 8*ysuL# 任務(wù)描述
7Ll(,i<,C @ ri.r1 本文件的主題是使用偏振分析器研究光柵的衍射階數(shù)的偏振狀態(tài)。
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GC5j\ 2}AV_]] 光柵式光學(xué)裝置中的偏振分析器
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編輯偏振分析器
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AIZE?oX 1C{~!=6# -該分析器計(jì)算了所定義結(jié)構(gòu)的每個衍射階數(shù)的兩個正交偏振狀態(tài)的效率之和(無論是透射還是反射)。
H#D=vx' -為此,在相應(yīng)
系統(tǒng)的光柵組件中配置的光柵被使用。
O%I' -效率之和可以從所有(傳播)階數(shù)中計(jì)算,也可以從用戶定義的階數(shù)范圍中計(jì)算。
w;"'l]W QX4I+x~oo\ 編輯偏振分析器
zob-z==' zc"eSy< w$ FoLwS%+yO -入射
光束的偏振狀態(tài)可以根據(jù)以下坐標(biāo)系來定義。
+?p ;,Z%5 a. 光柵的坐標(biāo)系
6lPGop]js] b.光源的坐標(biāo)系
Vz^:|qON c.P-S坐標(biāo)系
mon(A|$|j d.TE-TM坐標(biāo)系
O-k(5Zb -T>`PJpJuL 偏振方向
dxA=gL2 -3Ffk: a.光柵坐標(biāo)系
sfLBi~*j 瓊斯矢量分別描述了沿光柵組件的X軸和Y軸的電場。
dNR4h P~&X$H%e b.
光源坐標(biāo)系
C`ok{SNtUy $8Zw<aEJ 瓊斯矢量分別描述了沿光源X軸和Y軸的電場。
wRKGJ "o1/gV 非錐形入射的偏振方向
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