光柵是許多光學工程師的基本工具，因為它們的物理特性(將入射光衍射成一組離散的級次)使它們在許多不同的配置和許多不同的應用中都是非常有吸引力的工具。然而，研究主要的興趣是給定光柵設置如何能夠容許例如制造過程產(chǎn)生的與設計參數(shù)的小偏差。請查看下面的文檔，找到我們根據(jù)其填充因子優(yōu)化傾斜光柵的示例。我們使用新發(fā)布的Parameter Variation Analyzer來執(zhí)行設置的容差分析，并計算一個評價函數(shù)，該函數(shù)計算了不同填充因子下工作級次的平均效率。 K}q5,P(  
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但是光柵本身的參數(shù)并不是影響這類系統(tǒng)性能的唯一因素:已知大多數(shù)具有小特征尺寸的周期結構對入射光的偏振狀態(tài)非常敏感。作為本周的第二個用例，我們選擇了一個場景，在這個場景中，我們分析了二元光柵的偏振依賴性,并對結構進行了優(yōu)化，使其在任意偏振角入射光下均能表現(xiàn)良好。 {Mo[C%  
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這個用例演示了一個具有稍微變化的填充因子的傾斜光柵的魯棒性優(yōu)化。 /g0' +DP  
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