摘要                                                                             1/bu}?a  
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由于制造過程中潛在的不準(zhǔn)確性，對(duì)于一個(gè)好的光柵設(shè)計(jì)來說，面對(duì)光柵參數(shù)的微小變化，提供穩(wěn)健的結(jié)果是至關(guān)重要的。VirtualLab Fusion為光學(xué)工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優(yōu)化過程，例如參數(shù)變化分析儀。該工具結(jié)合了同一系統(tǒng)的多次迭代，在優(yōu)化過程中實(shí)現(xiàn)了評(píng)價(jià)函數(shù)的表示和自動(dòng)計(jì)算，如平均效率。在這個(gè)用例中，我們通過稍微改變填充因子來優(yōu)化傾斜光柵來演示這個(gè)特性。             FJN,er~T[  
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