摘要
cZL"e UR-e'Z&] UeE& 8{=d I}Q3B3Byg 由于制造過程中潛在的不準確性,對于一個好的
光柵設(shè)計來說,面對光柵
參數(shù)的微小變化,提供穩(wěn)健的結(jié)果是至關(guān)重要的。
VirtualLab Fusion為
光學工程師提供了各種工具,可以將這種行為直接納入
優(yōu)化過程,例如參數(shù)變化分析儀。該工具結(jié)合了同一
系統(tǒng)的多次迭代,在優(yōu)化過程中實現(xiàn)了評價
函數(shù)的表示和自動計算,如平均效率。在這個用例中,我們通過稍微改變填充因子來優(yōu)化傾斜光柵來演示這個特性。