摘要 :;XHA8  
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在傳統(tǒng)的 Talbot 光刻中，在光敏層中僅使用一個圖像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的兩個圖像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里葉模態(tài)方法 (FMM，也稱為 RCWA) 對具有一層錐體的相位掩模進行建模�？梢詸z測到不同的 Talbot 圖像，在主像平面中會再現(xiàn)柱狀圖案，而在次要像平面中再現(xiàn)孔圖案。 yf=ek==  
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圖片:1-220G3232QN13.jpg

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建模任務 ma }Y\(38  
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圖片:1-220G3232T1D5.png

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structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 'eo2a&S2D  
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系統(tǒng)建模塊 )vS##-[_  
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圖片:1-220G323292Xb.png

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特定位置的Talbot圖案 |l ~BdP  
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圖片:1-220G3233002M1.png

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特定位置的Talbot圖案 (cYc03"  
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圖片:1-220G32331001C.png

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不同位置的Talbot圖案 M14_w,  
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圖片:1-220G3233132321.png

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不同位置的Talbot圖案 HXdPKS4q  
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圖片:1-220G3233159A5.png

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沿 Z 軸的強度 @R2|=ox  
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圖片:1-220G3233223910.png

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VirtualLab Fusion技術 u'K<-U8H  
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圖片:1-220G32332544H.png