壓力傳感器的重要傳感元件是法布利-比洛特(FP)型光學(xué)干涉儀。干涉儀的兩面鏡子分別是位于一端的薄膜內(nèi)表面和位于另一端的光纖尖端。所施加的壓力P 引起了薄膜的偏移，而此偏移又直接轉(zhuǎn)換成了FP 干涉儀空腔長(zhǎng)度的變化。
e)bqE^JP J8D-a ! 為得到薄膜偏移和所施加的壓力間的線性關(guān)系，傳感器的形狀和材料都經(jīng)嚴(yán)格選擇。其系可表示為：
Bms?`7}N \%VoX` B Lcav(P) = L0 + (P-P0S)…………………………(1)
y@z #Jw< K=>/(s Wiq 其中P是施加到薄膜外表面上的壓力(單位psi)
Zj0&/S P0是FP空腔內(nèi)的壓力(單位psi)
v>P){VT Lcav是由信號(hào)解調(diào)器所測(cè)得的空腔長(zhǎng)度(單位nm)
p
