摘要 /!Wu D\B  
k*E\B@W>  

圖片:1-220Q0194151157.jpg

9S7kUl{  
VsgE!/>1  
由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進行嚴(yán)格的分析。在這個用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評估。為此，對初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評價函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 Xg SxN!I  
u7\J\r4,+  
建模任務(wù) +!z{5:  
fA<[f  

圖片:1-220Q019433c02.png

#Jn_c0  
*-q"3D`  
衍射分束面初始設(shè)計(*) i;jw\ed  
YN2sdG  

圖片:1-220Q0194422301.png

e2ilB),  
`m>*d!h=  
1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計工具計算了分束器的初始相位函數(shù)。 7_Z#m (  
2. 對于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計。 Q`D~5ci  
%K`% *D
  
(*)不是這個用例的一部分 (**)這些會話編輯器在衍射光學(xué)工具箱銀版中可用。 O<"}|nbmQ[  
3k#/{Z  
TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 Bck7\  
#u"k~La  

圖片:1-220Q0194535c2.png

m&\h4$[kql  
f3{MvAy[  
 TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍波長的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計高度輪廓相互作用后可能會顯示出與期望值的相關(guān)偏差。 9C[ywp  
 因此，需要進行嚴(yán)格的評估。 gu<'QV"  
 對于參數(shù)優(yōu)化，需要對結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)進行不同的定義。 PBxCx3a{  
-
>O2I?  
后優(yōu)化的數(shù)據(jù)準(zhǔn)備(參數(shù)化) Q7$.LEioN  
iz?tu: \v&  

圖片:1-220Q0194916135.png

{%{`l-  
Z@&Dki  
衍射分束器表面進一步優(yōu)化 %8Dz

o  
L19C<5>  

圖片:1-220Q0195042360.png

{>,V\J0p  
g'=B%eO$j:  
哪個衍射級次有哪些評價函數(shù)？ $
Y_i4(  
92d6U2T4&  

圖片:1-220Q0195110T1.png

WxJf{=-  
X 9%'|(tL  
利用可編程光柵分析器 0iK;Egwm  
z$GoaS(  

圖片:1-220Q0195133Z9.png

P=&o%K,:f  
Q7C;1aO  
分束器初始設(shè)計的嚴(yán)格分析 :.d:9Z|_  
!]fQ+