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由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進(jìn)行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進(jìn)行嚴(yán)格的分析。在這個用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評估。為此，對初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評價函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 SYsO>`/ )  
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建模任務(wù) pnp8`\cIH  
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衍射分束面初始設(shè)計(*) >iK LC  
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1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計工具計算了分束器的初始相位函數(shù)。 cc`u{F9  
2. 對于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計。 c1FSQ m81  
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(*)不是這個用例的一部分 (**)這些會話編輯器在衍射光學(xué)工具箱銀版中可用。 +eH`mI0f  
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TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 j(;ou
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 TEA非常適合于最小特征尺寸不小于約5倍波長的情況。如果不是這樣，振幅/相位分布與設(shè)計高度輪廓相互作用后可能會顯示出與期望值的相關(guān)偏差。 #Q["[}flVv  
 因此，需要進(jìn)行嚴(yán)格的評估。 N\.