1. 摘要 +
k1|+zzS ZuV/!9qU 利用
VirtualLab Fusion的
參數(shù)耦合功能可在
光學(xué)設(shè)置中耦合參數(shù)。耦合的參數(shù)可重新計(jì)算
系統(tǒng)的其他參數(shù)，進(jìn)而自動(dòng)保持系統(tǒng)參數(shù)間的關(guān)系。因此，參數(shù)耦合功能使用戶可以參數(shù)設(shè)置復(fù)雜的依存關(guān)系。例如，在此示例中，我們使用參數(shù)耦合來(lái)確保用戶
編程的傾斜
光柵介質(zhì)的z軸擴(kuò)展長(zhǎng)度與包含該
結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)化層的厚度一致性。
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5 .st!Lp1 L~nVoKY*V 2. 參數(shù)運(yùn)行的初始化 L8"0o 0- o
