摘要 b{Bef*`/  
xFzaVjjP  
顯微系統(tǒng)的分辨率一般用阿貝判據(jù)進(jìn)行表征。這也解釋了物鏡的數(shù)值孔徑(NA)決定了光柵(作為樣本)衍射階在其后焦平面上的濾波。當(dāng)高衍射級(jí)次的衍射被濾除后，像面不會(huì)發(fā)生干涉，因此不會(huì)成像。本實(shí)例演示了數(shù)值孔徑NA對(duì)濾波效果和分辨率的影響。 _B?Hw[cc  
0aqq*e'c  

圖片:1-210616204Z1196.png

0O!A8FA0  
0B]c`$"aD  
1. 案例 b:Tv Ta  
3(,c^F  

圖片:1-210616205003230.png

|vPU]R>
6  
  H1d2WNr[  
在VirtualLab Fusion中構(gòu)建系統(tǒng) vhGX&   
$YiG0GK<"  
1. 系統(tǒng)構(gòu)建模塊 n#S?fsQN  
2[CHiB*>  

圖片:1-2106162052331A.png

<64#J9T^  
o&)v{q  
2. 組件連接器 N5b^  
8xt8kf*k  

圖片:1-210616205301233.png

= G>Y9Sc  
  +TC##}Zmb  
幾何光學(xué)仿真 7?ILmYBw  
qV)hCc/ ~  
以光線追跡 ) S-Fuq4i4  
L>n^Q:M  
1. 結(jié)果：光線追跡 T}jW,Ost  
6t{G{ ]  

圖片:1-210616205400Y7.png

.umN>/o[  
  ?!u9=??  
快速物理光學(xué)仿真 z .+J\  
i8!err._  
以場(chǎng)追跡 Gce[RB:  
~g}blv0q+B  
1. NA=1.4時(shí)的光柵成像 c27Zh=;Tj  
a5/r|BiBK  

圖片:1-210616205451O3.png

T>irW(  
N>w+YFM  
2.  NA=0.75時(shí)的光柵成像 ^ f[^.k$3d  
XCT3:db  

圖片:1-21061620552R13.png

n]8*yoge  
EX@Cf!GjN  
3. NA=0.5時(shí)的光柵成像 j>3Fwg9V  
   x@*?~1ai  

圖片:1-21061620560E51.png