摘要 9}Z;(,6/.\  
zxH<~2
 

圖片:1-240310152056258.jpg

+xsGa{`  
_8F;-7Sz  
光柵等光學設備對光的偏振很敏感。 因此，在仿真中正確考慮光的偏振非常重要。 在實踐中，光柵有時使用非偏振光作為輸入。 我們展示了如何將這種非偏振光建模為兩個正交偏振態(tài)的平均值，用于 VirtualLab Fusion 中的光柵仿真。 提供了示例來說明軟件中的相應設置。 eOkiB!G.  
KK4e'[Wf  
光柵仿真中的非偏振光 sDTw</@  
#3{}(T7  

圖片:1-240310152220621.png

Q-#<{' (  
;*9<lUvu  
J7aYi]vI  
• 光柵分析 5JK'2J&  
– 對于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來計算 RP[`\  
例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。 7N@[Rtv  
• 非偏振平面波 BafNFPc  
– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認為非偏振光在統(tǒng)計上可以同時具有任何偏振狀態(tài)。 0
=t2|,}  
– 可以將任意偏振態(tài)投影到兩個正交狀態(tài)上； 統(tǒng)計上，非偏振光沿著形成這個正交基礎的兩個狀態(tài)給出了相等的投影。 yGrnzB6|  
– 因此，我們可以以非相干的方式使用兩個正交狀態(tài)的平均值來表示非偏振光。 "L1LL iS  
5K682+^5  
光柵仿真中的光源設置 'irwecd8  
#w