摘要 >"8;8Ev
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6R,Y.srR t L3R<' 光柵等
光學設備對光的偏振很敏感。 因此，在
仿真中正確考慮光的偏振非常重要。 在實踐中，光柵有時使用非偏振光作為輸入。 我們展示了如何將這種非偏振光建模為兩個正交偏振態(tài)的平均值，用于 VirtualLab Fusion 中的光柵仿真。 提供了示例來說明
軟件中的相應設置。
`6)(Fk --" ,`JYFh M 光柵仿真中的非偏振光 WG A1XQ{
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^R =`<jx o3V\ ~n- Px) • 光柵分析
yI1 :L
- – 對于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來計算
?HJh;96B 例如
衍射效率是所研究光柵的固有特性。
ffG <hclk • 非偏振平面波
yAfwQ$Ll7 – 考慮沿 z 方向的平面波，可以認為非偏振光在統(tǒng)計上可以同時具有任何偏振狀態(tài)。
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y+
= – 可以將任意偏振態(tài)投影到兩個正交狀態(tài)上； 統(tǒng)計上，非偏振光沿著形成這個正交基礎的兩個狀態(tài)給出了相等的投影。
@QV0l]H0+ – 因此，我們可以以非相干的方式使用兩個正交狀態(tài)的平均值來表示非偏振光。
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5 JM 光柵仿真中的光源設置 D3cJIVM
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iP0m1 <a]i" s UB. 1xcI • 光源偏振態(tài)的手動控制
]:OrGD" – 光在 VirtualLab Fusion 中始終以矢量形式表示，用戶可以完全控制光源設置中的偏振狀態(tài)。
>=[uLY[aK – 遵循基本概念，可以根據(jù)非偏振光的需要，使用特定的輸入偏振態(tài)進行光柵
模擬。。 例如，通過選擇 TE 和 TM 偏振作為兩個正交基態(tài)，我們可以對兩種配置獨立執(zhí)行光柵仿真，然后通過功能區(qū)菜單功能手動平均結果（如下所述）。
H"FK(N\ ux<|8S 光柵仿真中的偏振相關分析儀 EY
