摘要 R{hX--|j  
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光柵等光學(xué)設(shè)備對(duì)光的偏振很敏感。 因此，在仿真中正確考慮光的偏振非常重要。 在實(shí)踐中，光柵有時(shí)使用非偏振光作為輸入。 我們展示了如何將這種非偏振光建模為兩個(gè)正交偏振態(tài)的平均值，用于 VirtualLab Fusion 中的光柵仿真。 提供了示例來(lái)說(shuō)明軟件中的相應(yīng)設(shè)置。 <?jdNM  
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光柵仿真中的非偏振光 $o6/dEKQ  
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• 光柵分析 E(qYCafC  
– 對(duì)于使用傅立葉模態(tài)方法 (FMM / RCWA) 的單光柵分析，使用平面波入射來(lái)計(jì)算 y)f.ON36I  
例如 衍射效率是所研究光柵的固有特性。 ;'!x  
• 非偏振平面波 7AG|'s['=  
– 考慮沿 z 方向的平面波，可以認(rèn)為非偏振光在統(tǒng)計(jì)上可以同時(shí)具有任何偏振狀態(tài)。 ^<]'?4m]  
– 可以將任意偏振態(tài)投影到兩個(gè)正交狀態(tài)上； 統(tǒng)計(jì)上，非偏振光沿著形成這個(gè)正交基礎(chǔ)的兩個(gè)狀態(tài)給出了相等的投影。 ;D5>i
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– 因此，我們可以以非相干的方式使用兩個(gè)正交狀態(tài)的平均值來(lái)表示非偏振光。 (su,=Z  
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光柵仿真中的光源設(shè)置 fV:15!S[  
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