復雜
光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法(FMM,或者RCWA)一種簡易的
仿真方法來嚴格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面,可以設置堆棧的幾何圖形,從而生成復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型
"E?2xf|. • 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
0aa&m[Mk • 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中,表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱作二維光柵。
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2WVka 初始化光柵工具箱
gH7|=W • 初始化
'V=P*#|SR − 開始菜單欄 (Start)
pWsDzb6?% 光柵菜單欄(Grating)
&<U0ZvrsH 通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
K$_0`>[ • 提示:對于特殊類型的光柵,例如柱形光柵,
GMl;7?RA 可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路
.oUTqki 圖(三維光柵)(Pillar Grating Light
YLE!m? Path Diagram(3D Gratings))
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