復雜
光柵結構被廣泛應用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法(FMM,或者RCWA)一種簡易的
仿真方法來嚴格分析任意的光柵結構。使用圖形用戶界面,可以設置堆棧的幾何圖形,從而生成復雜的光柵結構。 此例程主要用于構建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構建二維光柵的方法 − 基于介質定義的類型 − 基于界面定義的類型
fs&$?mHL){ • 計算之前修改高級選項和檢查定義的結構的方法。
PQ[?zNrSV • 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結構中,表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱作二維光柵。
jqc}mI\# nW7: ] 初始化光柵工具箱
&{a!)I> • 初始化
Y$A2{RjRq − 開始菜單欄 (Start)
['.]) 光柵菜單欄(Grating)
MyllL@kP 通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
iBSg`"S^]C • 提示:對于特殊類型的光柵,例如柱形光柵,
)Ak#1w&q 可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路
PENB5+1OK 圖(三維光柵)(Pillar Grating Light
`cXLa=B)9 Path Diagram(3D Gratings))
UNa"\