復雜
光柵結(jié)構(gòu)被廣泛應用于
光譜儀、近眼顯示
系統(tǒng)等領域。VirtualLab Fusion
軟件用傅立葉模態(tài)法(FMM,或者RCWA)一種簡易的
仿真方法來嚴格分析任意的光柵結(jié)構(gòu)。使用圖形用戶界面,可以設置堆棧的幾何圖形,從而生成復雜的光柵結(jié)構(gòu)。 此例程主要用于構(gòu)建具有二維周期性特征的光柵。
• 光柵工具箱中構(gòu)建二維光柵的方法 − 基于介質(zhì)定義的類型 − 基于界面定義的類型
(K<9hL+X • 計算之前修改高級選項和檢查定義的結(jié)構(gòu)的方法。
;_+uSalt • 提示:在VirtualLab軟件中的光柵結(jié)構(gòu)中,表現(xiàn)為二維周期性的被稱作 三維光柵。同樣的,層狀光柵(一維周期性)被稱作二維光柵。
-x*2t;%z{U Es4qPB`g. 初始化光柵工具箱
w0J|u'H • 初始化
bGmx7qt# − 開始菜單欄 (Start)
C9~~O~7x 光柵菜單欄(Grating)
K=\O5#F?3 通用光柵光路圖(三維光柵) General Grating Light Path Diagram(3D Gratings)
wkb$^mU • 提示:對于特殊類型的光柵,例如柱形光柵,
BmBz}:xMez 可以在光柵工具箱中直接點擊柱形光柵光路
Ng=ONh
圖(三維光柵)(Pillar Grating Light
I 3$dVls} Path Diagram(3D Gratings))
`/IKdO*!S h<l1U'Bn7 設置光柵結(jié)構(gòu)
mUP.