摘要 Y]&j,j&  

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對于許多應(yīng)用來說（例如背光、光學連接器和近眼顯示），如何將光高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要的問題。對于這些應(yīng)用，傾斜光柵因為能夠高效地耦合單色光而被熟知。在此示例中，介紹了使用嚴格的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于給定的方向級次，優(yōu)化的光柵展示出超過90％的衍射效率。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 
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設(shè)計任務(wù) M3.do^ss  
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1級參數(shù)優(yōu)化 q<M2,YrbAI  
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結(jié)果-容差分析 ?`?)QE8  
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結(jié)果-容差分析 +~
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VirtualLab Fusion一瞥 Qnsi`1mASr  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 gDpVeBd[  
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構(gòu)建光柵結(jié)構(gòu) oG_~q w|h  
−使用特殊材料的光柵結(jié)構(gòu)設(shè)定[用例] , K~}\CR  
−傾斜光柵高級設(shè)定[用例] 5j?3a1l0  
•光柵衍射效率分析 _z|65H  
−光柵階序分析器[用例] >G25m'&,7  
•使用參數(shù)優(yōu)化進行光柵參數(shù)優(yōu)化 gi1^3R[  
•使用參數(shù)運行的容差分析 gtppv6<Mj4  
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VirtualLab Fusion技術(shù) (5-FV